无尘洁净车间,是指无尘车间,美国国家航空航天局( NASA )飞往太阳系天体的太空行动要能够维持生命,或者可能要维持处于基本进化状态的生命,对于太空船表面上的孢子数有严格的限制要求。
喷射系统说明,许多汽车组件都必须保持表面高度清洁,但是这些关键的区域往往集中在组件的内部。许多组件采用非常复杂的金属结构,在成形后加工成终的形状并且包含介质通孔或需要高度清洁的内表面。可以用来检查这种组件清洁程度的办法是通过清洁程序,提取所有微粒污染物,然后分析清洗液。为了做到这一点,一般是把微粒污染物沉积到过滤膜上,然后进行显微分析或者重量测定分析。
洁净室的发展与现代工业、技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%,64位储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
根据洁净室的等级,合理选择洁净室的气流分布流型,在工作区应避免涡流区;尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区;气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。