等离子净化器主要采用脉冲高频高压等离子体电源和双介质齿板放电装置，顶部放电形式产生离子。等离子体是一种聚集态物质，其所拥有的 电子能在毫秒级的时间内，瞬间击穿空气和废气分子，发生一系列分化裂解反应，产生、的活性自由基和各种电子、离子等，在与机废气中的分子碰撞时会发生一系列基元物化反应，并在反应过程中产生多种活性自由基和生态氧，即臭氧分解而产生的原子氧。
等离子废气处理设备特点：
1、 易于组合：该套设备易于集成，能够适用各种工业应用，能与其它气体净化设备（如高活化生物废气净化塔等）结合，达到理想的废气净化效果。
2、 处理：低温等离子反应器只需处理新鲜空气，使其电极间距离可以减小，利于增强模组内的电场强度，从而能够在不提升能耗的条件下，增加生成粒子的活性并提高粒子密度，净化效率超过90%。
3、 可调性强：设备可根据客户需求选择，在运行时可以实时调节，在废气风量较小的条件下选用较低的运行功率。
4、 运行稳定：废气不直接经过等离子发生器，不会因电极火花使易燃易爆气体发生爆炸，废气不参与低温等离子体生成过程，不会对放电稳定性产生影响，使成氧离子体的过程稳定、可控。同时能减少副产物（如臭氧）的生成。
5、 空间小、重量轻：由于使用新鲜空气而非废气生成低温等离子体，使得低温等离子体系统整体体积显著减小，各部件间的结构紧凑。
6、 维护简单：设备结构简单，不需要附加额外的清洁系统、冷却设备等。日常清洁所需的花费少，运行、维护成本低。设备独立于废气排放管道之外，不需要停产即可对设备进行日常维护或清洁工作。