主要技术参数
产品名称
20KW中频磁控溅射镀膜电源
产品型号
WZP20-600V
产品品牌
跃迁
电源类型
全数控智能电源
输入电压：
AC380V±10%
输出
功率:
20KW
电流:
0~40A
电压:
额定电压500V,电压> 600V
频率
40Khz
波形
准正弦波
方式
自定义恒压、恒流、恒功率
调节精度
≤1%
效率
≥90%
功率因数
cosΦ≥0.9
控制方式:
电源面板按键控制
模拟信号控制：TTL电平，可以控制工作停止，输出电压或输出电流或输出功率，外部开路保护（一般用于水流保护）
数字接口控制：485通讯。也可以定制232接口
显示方式:
中英文液晶显示
显示内容：
工作状态，输出电压，输出电流，设定值
输出保护
输出过压，输出过流，输出失调
输入保护
输入过压，输入欠压，输入过流，缺相
保护
接地保护，漏电保护，外控保护,防雷保护，过热
绝缘等级
B级
防护等级
IP20
保护响应时间
1uS
输入
对外壳电阻
≥20MΩ
输出
输入对外壳耐压
2000V/1min
输入对输出耐压
3500V/1min
使用环境
温度：
0～35℃
湿度：
≤80%
冷却方式：
水冷
外形尺寸：
480*135*380（mm）
特点:
体积小，重量轻，结构简单，操作简单，稳定可靠
电路采用模块化设计，调试维修方便。
真空清洗电源，不易产生电弧，负载适应范围宽
适用范围
输出电压偏低，输出电流大，如果用于磁控溅射，适用于真空气压较高，工作电压较低的场合
备注：
出厂默认为TTL模拟接口和485接口
故障提示
全数控智能电源,有10多种故障检测处理系统，故障具有声音提示和中英文提醒，可以输出故障类型