所谓半导体电子洁净车间,指的是洁净度在10万级标准以上的车间,主要是按照按照每一立方米空气中含有的0.5微米尘粒数计算。根据洁净度不同分为100级(小于3.5个),1000级(小于35个),10000级(小于350个),100000级(小于3500个)。[1]
在绝大多数情况下,无尘车间运行中风速越低,过滤器的使用效果越好。
小粒径粉尘的扩散作用(布朗运动)明显,风速低了,气流在过滤材料中滞留的时间就长一些,粉尘就有更多的机会撞击障碍物,因此过滤效率就高。经验表明,对于高效过滤器,风速减少一半,粉尘的透过率会降低近一个数量级(效率数值增加一个9),风速增加一倍,透过率会增加一个数量级(效率降低一个9)。
与扩散的效果类似,当过滤材料带静电时(驻极体材料),粉尘在滤材中滞留的时间越长,被材料吸附的可能性就越大。改变风速,带静电材料的过滤效率会明显改变。如果你知道材料上有静电,进行空调系统设计时就应该尽可能地减少通过每只过滤器的风量。
对于以惯性机理为主的大颗粒粉尘,根据传统理论,风速降低后,粉尘与纤维碰撞的几率会减少,过滤效率会随之降低。但在实践中这种影响并不明显,因为风速小了,纤维对粉尘的反弹力也小了,粉尘更容易被粘住。
风速高,阻力就大。如果过滤器的使用寿命以终阻力为依据,风速高,过滤器的使用寿命就短。一般用户很难实际观察到风速对过滤效率的影响,但观察风速对阻力的影响要容易得多。
对于高效过滤器,气流穿过滤材的速度一般在0.01~0.04m/s,在这个范围内,过滤器的阻力与过滤风量呈正比关系。例如,一只484×484×220mm的高效过滤器,在额定风量1000m3/h下的初阻力为250Pa,如果使用中的实际风量是500m3/h,它的初阻力可降为125Pa。对于空调箱中的一般通风用过滤器,气流穿过滤材的速度在0.13~1.0m/s范围内,阻力与风量不再是线性关系,而是一条上扬的弧线,风量增加30%,阻力可能会增加50%,若过滤器阻力对你来说是个非常重要的参数,你就要向过滤器供应商索要阻力曲线。